电镜能谱扫描仪

设备名称：JEOL(日本电子)JSM-6480型扫描电镜 

OXFORD(牛津)INCA-350型能谱仪 

OXFORD(牛津)INCA wave 550型波谱仪

      制造厂家：日本电子、牛津

性能指标：

分辨率          3.0 nm

放大倍数        5×～300000×

加速电压        0.3kv～30kv

行程            X=125mm   Y=100mm   Z=80mm

倾斜            T –10°～+90°

旋转            R 360°连续

样品托          φ32mm

图像模式        二次电子图像  背散射电子图像

显示像素        2560×1920

探头            锂漂移硅 Si(Li)

分析元素范围    Be4 以上元素 

探头分辨率      优于133ev 

对分析区域      点扫描、线扫描、面扫描、不规则区域扫描

应用范围：断口扫描、微观成分分析。